Isi kandungan:
Definisi - Apakah maksud Nanolithography?
Nanolitografi adalah cawangan nanoteknologi dan nama proses untuk mencetak, menulis atau menggosok corak dalam tahap mikroskopik untuk menghasilkan struktur yang sangat kecil. Proses ini biasanya digunakan untuk membuat peranti elektronik yang lebih kecil dan lebih cepat seperti mikro / nanochips dan pemproses. Nanolithography digunakan terutamanya dalam pelbagai sektor teknologi dari elektronik ke biomedikal.Techopedia menerangkan Nanolithography
Nanolithography adalah istilah luas yang digunakan untuk menggambarkan pelbagai proses untuk membuat corak nanoscale pada media yang berbeza, yang paling umum adalah silikon bahan semikonduktor. Tujuan utama nanolitografi ialah mengecilkan peranti elektronik, yang membolehkan lebih banyak bahagian elektronik dikebumikan menjadi ruang yang lebih kecil, iaitu litar bersepadu yang lebih kecil yang menghasilkan peranti yang lebih kecil, yang lebih cepat dan lebih murah untuk menghasilkan kerana bahan yang lebih sedikit diperlukan. Ini juga meningkatkan prestasi dan masa tindak balas kerana elektron hanya memerlukan jarak yang sangat singkat.
Beberapa teknik yang digunakan dalam nanolithography adalah seperti berikut:
- Litografi sinar-X - Dilaksanakan menerusi pendekatan pencetakan jarak dekat dan bergantung pada sinaran X-dekat di Fresnel difraksi. Ia dikenali untuk melanjutkan resolusi optiknya kepada 15 nm.
- Corak berganda - Satu kaedah yang digunakan untuk meningkatkan resolusi padang proses litografi dengan mencetak corak tambahan di antara ruang corak yang telah dicetak dalam lapisan yang sama.
- Litografi langsung tulis (EBDW) elektron - Proses yang paling biasa digunakan dalam litografi, yang menggunakan rasuk elektron untuk menghasilkan corak.
- Litografi ultraungu ultraviolet (EUV) - Satu bentuk litografi optik yang menggunakan cahaya panjang ultrashort 13.5 nm.
