Isi kandungan:
- Definisi - Apa maksud Sistem Mikro-Elektromekanik (MEMS)?
- Techopedia menerangkan Sistem Mikro-Elektromekanikal (MEMS)
Definisi - Apa maksud Sistem Mikro-Elektromekanik (MEMS)?
Sistem elektromekanik mikro (MEMS) adalah modul mekanik kecil yang didorong oleh elektrik. NEMS menggabungkan komputer dengan modul mekanikal seperti sensor, penggerak dan cermin. Mereka adalah sistem yang kos efektif yang menggunakan teknologi fabrikasi peranti diubahsuai.
MEMS mempunyai pelbagai kegunaan dan datang dalam pelbagai pendekatan reka bentuk fabrikasi, mengambil kesempatan daripada pelbagai komponen, pengecilan dan sistem elektromekanik bersepadu standard baru. MEMS boleh digunakan untuk etsa basah seperti kalium hidroksida (KOA), etsa kering seperti etsa reaktif-ion dalam (DRIE), pengacuan dan penyaduran, jentera elektro pelepasan (EDM) dan teknologi lain yang menghasilkan peranti kecil.
Sistem elektromekanikal mikro juga boleh dirujuk sebagai sistem mikroelektronik, mikromak, teknologi microsystems atau perkara pintar.
Techopedia menerangkan Sistem Mikro-Elektromekanikal (MEMS)
MEMS boleh lebih kecil daripada lebar rambut manusia dan mungkin termasuk beberapa komponen seperti:
- Mikrosensor
- Pembuat Mikro
- Microprocessors
- Unit pusat untuk data pemprosesan
- Komponen untuk berinteraksi dengan unsur luaran
MEMS mempunyai luas permukaan yang besar kepada nisbah isipadu dan dibina menggunakan teknologi fabrikasi silikon.
Peranti MEMS termasuk microcircuitry yang diletakkan pada cip silikon kecil yang digunakan dengan komponen mekanikal. Teknologi ini menyokong pelbagai jenis peranti yang mengawal, merasakan atau mengaktifkan proses mekanikal ketika berfungsi sebagai array atau secara individu.
Pada masa ini, MEMS merangkumi mikrosenor atau mikacuator yang berbeza dalam seni bina mereka, tetapi tahap asimilasi yang lebih kompleks mungkin berlaku pada masa akan datang. Perkembangan seterusnya mungkin untuk memasukkan banyak ciri individu ke dalam satu sistem.
